Máquina de litografía Aliñador de máscaras Máquina de fotogravado
Introdución do produto
A fonte de luz de exposición adopta LED UV importados e módulo de conformación da fonte de luz, con pequena calor e boa estabilidade da fonte de luz.
A estrutura de iluminación invertida ten un bo efecto de disipación da calor e un efecto de achegamento da fonte de luz, e a substitución e o mantemento da lámpada de mercurio son sinxelos e cómodos. Equipado cun microscopio binocular de dobre campo de alta ampliación e unha pantalla LCD panorámica de 21 polgadas, pódese aliñar visualmente a través de
ocular ou pantalla CCD +, con alta precisión de aliñamento, proceso intuitivo e funcionamento cómodo.
Características
Con función de procesamento de fragmentos
A nivelación da presión de contacto garante a repetibilidade a través do sensor
A separación de aliñamento e a separación de exposición pódense axustar dixitalmente
Usando o ordenador integrado + funcionamento da pantalla táctil, sinxelo e cómodo, fermoso e xeneroso
Placa de tipo puxador cara arriba e cara abaixo, sinxela e cómoda
Admite a exposición ao contacto ao baleiro, a exposición ao contacto duro, a exposición ao contacto a presión e a exposición á proximidade
Con función de interface de nanoimpresión
Exposición dunha soa capa cunha soa tecla, alto grao de automatización
Esta máquina ten boa fiabilidade e unha demostración cómoda, especialmente axeitada para a ensinanza, a investigación científica e as fábricas en facultades e universidades.
Máis detalles
Especificación
1. Área de exposición: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Lonxitude de onda de exposición: 365 nm;
3. Resolución: ≤ 1 m;
4. Precisión de aliñamento: 0,8 m;
5. O rango de movemento da mesa de dixitalización do sistema de aliñamento deberá cumprir, como mínimo, os seguintes valores: Y: 10 mm;
6. Os tubos de luz esquerdo e dereito do sistema de aliñamento poden moverse por separado nas direccións X, Y e Z, dirección X: ± 5 mm, dirección Y: ± 5 mm e dirección Z: ± 5 mm;
7. Tamaño da máscara: 2,5 polgadas, 3 polgadas, 4 polgadas, 5 polgadas;
8. Tamaño da mostra: fragmento, 2", 3", 4";
9. ★ Apto para grosores de mostra: 0,5-6 mm e pode soportar pezas de mostra de 20 mm como máximo (personalizado);
10. Modo de exposición: temporización (modo de conta atrás);
11. Non uniformidade da iluminación: <2,5%;
12. Microscopio de aliñamento CCD de dobre campo: lente zoom (1-5 veces) + lente obxectiva do microscopio;
13. O percorrido de movemento da máscara en relación coa mostra deberá cumprir, como mínimo, os seguintes valores: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Densidade de enerxía de exposición: > 30 MW / cm2,
15. ★ A posición de aliñamento e a posición de exposición funcionan en dúas estacións e o servomotor das dúas estacións conmuta automaticamente;
16. A nivelación da presión de contacto garante a repetibilidade a través do sensor;
17. ★ A separación de aliñamento e a separación de exposición pódense axustar dixitalmente;
18. ★ Ten unha interface de nanoimpresión e unha interface de proximidade;
19. ★ Funcionamento con pantalla táctil;
20. Dimensións totais: aproximadamente 1400 mm (lonxitude), 900 mm (anchura) e 1500 mm (altura).
