Máquina de Litografía Máquina de fotograbado aliñador de máscaras
Introdución do produto
A fonte de luz de exposición adopta LED UV importados e un módulo de conformación da fonte de luz, cunha calor pequena e unha boa estabilidade da fonte de luz.
A estrutura de iluminación invertida ten un bo efecto de disipación de calor e un efecto próximo da fonte de luz, e a substitución e mantemento da lámpada de mercurio son sinxelos e cómodos.Equipado con microscopio de campo dual binocular de alto aumento e pantalla LCD de 21 polgadas, pódese aliñar visualmente mediante
ocular ou pantalla CCD +, con alta precisión de aliñamento, proceso intuitivo e operación cómoda.
características
Con función de procesamento de fragmentos
A presión de contacto nivelada garante a repetibilidade a través do sensor
A brecha de aliñamento e a diferenza de exposición pódense configurar dixitalmente
Usando ordenador integrado + operación de pantalla táctil, sinxelo e cómodo, fermoso e xeneroso
Tire o tipo de placa cara arriba e abaixo, sinxelo e cómodo
Admite exposición de contacto ao baleiro, exposición de contacto duro, exposición de contacto a presión e exposición de proximidade
Con función de interface de impresión nano
Exposición de capa única cunha tecla, alto grao de automatización
Esta máquina ten unha boa fiabilidade e demostración conveniente, especialmente adecuada para o ensino, a investigación científica e as fábricas en facultades e universidades.
Máis detalles
Especificación
1. Área de exposición: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Lonxitude de onda de exposición: 365 nm;
3. Resolución: ≤ 1m;
4. Precisión de aliñamento: 0,8 m;
5.O rango de movemento da táboa de exploración do sistema de aliñamento debe cumprir polo menos: Y: 10 mm;
6. Os tubos de luz esquerdo e dereito do sistema de aliñamento poden moverse por separado nas direccións X, y e Z, dirección X: ± 5 mm, dirección Y: ± 5 mm e dirección Z: ± 5 mm;
7. Tamaño da máscara: 2,5 polgadas, 3 polgadas, 4 polgadas, 5 polgadas;
8. Tamaño da mostra: fragmento, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Adecuado para o grosor da mostra: 0,5-6 mm, e pode soportar pezas de mostra de 20 mm como máximo (personalizadas);
10. Modo de exposición: temporización (modo de conta atrás);
11. Non uniformidade da iluminación: ＜ 2,5%;
12. Microscopio de aliñamento CCD de dobre campo: lente zoom (1-5 veces) + lente obxectivo do microscopio;
13. A carreira de movemento da máscara en relación coa mostra deberá cumprir polo menos: X: 5 mm;Y: 5 mm;: 6º；
14. ★ Densidade de enerxía de exposición: > 30 MW / cm2,
15. ★ A posición de aliñamento e a posición de exposición funcionan en dúas estacións, e o servomotor de dúas estacións cambia automaticamente;
16. A presión de contacto de nivelación garante a repetibilidade a través do sensor;
17. ★ A brecha de aliñamento e a diferenza de exposición pódense establecer dixitalmente;
18. ★ Ten interface de impresión nano e interface de proximidade;
19. ★ Funcionamento da pantalla táctil;
20. Dimensión total: preto de 1400 mm (lonxitude) 900 mm (ancho) 1500 mm (altura).
